Báo cáo tài liệu vi phạm
Giới thiệu
Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Sức khỏe - Y tế
Văn bản luật
Nông Lâm Ngư
Kỹ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
THỊ TRƯỜNG NGÀNH HÀNG
NÔNG NGHIỆP, THỰC PHẨM
Gạo
Rau hoa quả
Nông sản khác
Sữa và sản phẩm
Thịt và sản phẩm
Dầu thực vật
Thủy sản
Thức ăn chăn nuôi, vật tư nông nghiệp
CÔNG NGHIỆP
Dệt may
Dược phẩm, Thiết bị y tế
Máy móc, thiết bị, phụ tùng
Nhựa - Hóa chất
Phân bón
Sản phẩm gỗ, Hàng thủ công mỹ nghệ
Sắt, thép
Ô tô và linh kiện
Xăng dầu
DỊCH VỤ
Logistics
Tài chính-Ngân hàng
NGHIÊN CỨU THỊ TRƯỜNG
Hoa Kỳ
Nhật Bản
Trung Quốc
Hàn Quốc
Châu Âu
ASEAN
BẢN TIN
Bản tin Thị trường hàng ngày
Bản tin Thị trường và dự báo tháng
Bản tin Thị trường giá cả vật tư
Tìm
Danh mục
Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Y tế sức khỏe
Văn bản luật
Nông lâm ngư
Kĩ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
NGÀNH HÀNG
NÔNG NGHIỆP, THỰC PHẨM
Gạo
Rau hoa quả
Nông sản khác
Sữa và sản phẩm
Thịt và sản phẩm
Dầu thực vật
Thủy sản
Thức ăn chăn nuôi, vật tư nông nghiệp
CÔNG NGHIỆP
Dệt may
Dược phẩm, Thiết bị y tế
Máy móc, thiết bị, phụ tùng
Nhựa - Hóa chất
Phân bón
Sản phẩm gỗ, Hàng thủ công mỹ nghệ
Sắt, thép
Ô tô và linh kiện
Xăng dầu
DỊCH VỤ
Logistics
Tài chính-Ngân hàng
NGHIÊN CỨU THỊ TRƯỜNG
Hoa Kỳ
Nhật Bản
Trung Quốc
Hàn Quốc
Châu Âu
ASEAN
BẢN TIN
Bản tin Thị trường hàng ngày
Bản tin Thị trường và dự báo tháng
Bản tin Thị trường giá cả vật tư
Thông tin
Tài liệu Xanh là gì
Điều khoản sử dụng
Chính sách bảo mật
0
Trang chủ
Kỹ Thuật - Công Nghệ
Cơ khí - Chế tạo máy
Handbook of Micro and Nano Tribology P13
Đang chuẩn bị liên kết để tải về tài liệu:
Handbook of Micro and Nano Tribology P13
Phong Lan
83
19
pdf
Không đóng trình duyệt đến khi xuất hiện nút TẢI XUỐNG
Tải xuống
With the proven record of accomplishment in very large integrated circuits (VLSI) brought about by batch-fabrication technology for electronic devices of ever-decreasing size, there is widespread enthusiasm about emerging opportunities to design mixed micromechanical and microelectronic systems. New development, based heavily on integrated-circuit-related technologies, have led to rapid progress in the development of | Muller R.S. Microdynamic Systems in the Silicon Age Handbook of Micro Nanotribology. Ed. Bharat Bhushan Boca Raton CRC Press LLC 1999 1999 by CRC Press LLC 13 Microdynamic Systems in the Silicon Age Richard S. Muller 13.1 Introduction Origins 13.2 Micromachining Substrate Micromachining Surface Micromachining Polycrystalline Silicon Properties Tribology in MEMS 13.3 MEMS Structures and Systems MEMS Actuation Forces MEMS for Microphotonics Coupling Efficiency 13.4 Berkeley Microphotonics Research Acknowledgments References ABSTRACT With the proven record of accomplishment in very large integrated circuits VLSI brought about by batch-fabrication technology for electronic devices of ever-decreasing size there is widespread enthusiasm about emerging opportunities to design mixed micromechanical and microelectronic systems. New development based heavily on integrated-circuit-related technologies have led to rapid progress in the development of microdynamic systems. These systems are based upon the science technology and design of moving micromechanical devices and are a subclass of what is known in the U.S. as microelectromechanical systems MEMS . The dimensions of the micromechanical devices in MEMS are typically smaller than 100 pm. Recent rapid progress gives promise for new designs of integrated sensors actuators and other devices that can be combined with on-chip microcircuits to make possible high-performing compact portable low-cost engineering systems. Mechanical materials for some of the microdynamic systems that have thus far been demonstrated consist of deposited thin films of polycrystalline silicon silicon nitride aluminum polyimide and tungsten among other materials. To make mechanical elements using thin-film processing microstructures are freed from the substrate by etching a sacrificial layer of silicon dioxide. First demonstrated as a means to produce electrostatically driven doubly supported beam bridges this sacrificial-layer technology has proved .
TÀI LIỆU LIÊN QUAN
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.