Báo cáo tài liệu vi phạm
Giới thiệu
Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Sức khỏe - Y tế
Văn bản luật
Nông Lâm Ngư
Kỹ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
THỊ TRƯỜNG NGÀNH HÀNG
NÔNG NGHIỆP, THỰC PHẨM
Gạo
Rau hoa quả
Nông sản khác
Sữa và sản phẩm
Thịt và sản phẩm
Dầu thực vật
Thủy sản
Thức ăn chăn nuôi, vật tư nông nghiệp
CÔNG NGHIỆP
Dệt may
Dược phẩm, Thiết bị y tế
Máy móc, thiết bị, phụ tùng
Nhựa - Hóa chất
Phân bón
Sản phẩm gỗ, Hàng thủ công mỹ nghệ
Sắt, thép
Ô tô và linh kiện
Xăng dầu
DỊCH VỤ
Logistics
Tài chính-Ngân hàng
NGHIÊN CỨU THỊ TRƯỜNG
Hoa Kỳ
Nhật Bản
Trung Quốc
Hàn Quốc
Châu Âu
ASEAN
BẢN TIN
Bản tin Thị trường hàng ngày
Bản tin Thị trường và dự báo tháng
Bản tin Thị trường giá cả vật tư
Tìm
Danh mục
Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Y tế sức khỏe
Văn bản luật
Nông lâm ngư
Kĩ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
NGÀNH HÀNG
NÔNG NGHIỆP, THỰC PHẨM
Gạo
Rau hoa quả
Nông sản khác
Sữa và sản phẩm
Thịt và sản phẩm
Dầu thực vật
Thủy sản
Thức ăn chăn nuôi, vật tư nông nghiệp
CÔNG NGHIỆP
Dệt may
Dược phẩm, Thiết bị y tế
Máy móc, thiết bị, phụ tùng
Nhựa - Hóa chất
Phân bón
Sản phẩm gỗ, Hàng thủ công mỹ nghệ
Sắt, thép
Ô tô và linh kiện
Xăng dầu
DỊCH VỤ
Logistics
Tài chính-Ngân hàng
NGHIÊN CỨU THỊ TRƯỜNG
Hoa Kỳ
Nhật Bản
Trung Quốc
Hàn Quốc
Châu Âu
ASEAN
BẢN TIN
Bản tin Thị trường hàng ngày
Bản tin Thị trường và dự báo tháng
Bản tin Thị trường giá cả vật tư
Thông tin
Tài liệu Xanh là gì
Điều khoản sử dụng
Chính sách bảo mật
0
Trang chủ
Kỹ Thuật - Công Nghệ
Điện - Điện tử
Nghiên cứu ảnh hưởng của quá trình ăn mòn đến điện trở suất tiếp giáp Ohmic của linh kiện AlGaN/GaN HEMT
Đang chuẩn bị liên kết để tải về tài liệu:
Nghiên cứu ảnh hưởng của quá trình ăn mòn đến điện trở suất tiếp giáp Ohmic của linh kiện AlGaN/GaN HEMT
Phương Thủy
229
6
pdf
Không đóng trình duyệt đến khi xuất hiện nút TẢI XUỐNG
Tải xuống
Bài viết tìm hiểu ảnh hưởng của quá trình ăn mòn bằng nguồn plasma cảm ứng cao tần (ICP) tới điện trở suất tiếp giáp kim loại - bán dẫn đã được nghiên cứu bằng phương pháp đường truyền tuyến tính. | JST Engineering and Technology for Sustainable Development Vol. 1 Issue 2 April 2021 095-100 Nghiên cứu ảnh hưởng của quá trình ăn mòn đến điện trở suất tiếp giáp Ohmic của linh kiện AlGaN GaN HEMT Studying the Effect of Etching Process on the Ohmic Specific Contact Resistance of AlGaN GaN HEMT Nguyễn Trung Đô Lưu Thị Lan Anh Lê Thị Hồng Liên Nguyễn Hoàng Thoan Nguyễn Ngọc Trung Trường Đại học Bách khoa Hà Nội Hà Nội Việt Nam Email trung.nguyenngoc@hust.edu.vn Tóm tắt Trong các linh kiện điện tử từ mạch tích hợp đến pin mặt trời giá trị điện trở suât ρc tiếp giáp Ohmic giữa kim loại và bán dẫn là thước đo hiệu suất của thiết bị. Trong bài báo này ảnh hưởng của quá trình ăn mòn bằng nguồn plasma cảm ứng cao tần ICP tới điện trở suất tiếp giáp kim loại - bán dẫn đã được nghiên cứu bằng phương pháp đường truyền tuyến tính LTLM . Kết quả thu được cho thấy lựa chọn độ sâu và chế độ công nghệ phù hợp cho quá trình ăn mòn bằng phương pháp ICP trước khi phủ kim loại là một công đoạn có tính quyết định trong việc chế tạo tiếp giáp Ohmic có điện trở suất thấp. Giá trị điện trở Ohmic chế tạo được thấp nhất khi độ sâu ăn mòn đảm bảo cho các lớp kim loại phủ lên vùng AlGaN pha tạp với khoảng cách bên trên bề mặt lớp 2DEG của cấu trúc AlGaN GaN HEMT khoảng 8 nm. Với công suất của nguồn ion là 30 W và công suất nguồn plasma là 250 W tốc độ ăn mòn vật liệu AlGaN là khoảng 27 21 nm phút. Điện trở suất tiếp giáp Ohmic của các lớp kim loại Ti 20 nm Al 200 nm Pd 60 nm Au 100 nm với bán dẫn AlGaN có giá trị thấp nhất là ρc 1 08 x 10-7Ω.cm2 mặc dù mẫu chỉ ủ ở nhiệt độ tương đối thấp là 650oC trong môi trường khí Nitơ. Từ khóa GaN AlGaN transistor độ linh động điện tử cao điện trở suất tiếp giáp Ohmic quá trình ăn mòn ICP. Abstract In electronic devices ranging from integrated circuits to solar cells the Ohmic specific contact resistance between metal and semiconductor is a measure of device performance. In this paper the effect of Induction Coupled Plasma etching ICP on creating .
TÀI LIỆU LIÊN QUAN
Luận án Tiến sĩ Địa lý: Nghiên cứu quá trình đô thị hóa và ảnh hưởng của nó đến sự phát triển kinh tế - xã hội thành phố Cần Thơ
Bài thuyết trình Các giai đoạn nghiên cứu thuốc và ảnh hưởng của FDA lên quá trình nghiên cứu và phát triển thuốc
Luận văn nuôi trồng thủy sản: Ảnh hưởng của các loại kháng sinh lên quá trình phát triển của ấu trùng cua biển giai đoạn (zoea1 – zoea5 và zoea5 – cua1) trong quy trình nước trong hở
Nghiên cứu tăng vốn từ thông qua việc dịch truyện ngắn của sinh viên năm thứ 3 chuyên ngành Ngôn ngữ Anh: Một nghiên cứu tình huống tại trường Ngoại ngữ - Đại học Thái Nguyên
KHẢO SÁT QUÁ TRÌNH CỐ ĐỊNH ENZYME α-AMYLASE (TERMAMYL) BỞI CHẤT MANG CMC-ALGINATE
Nghiên cứu sự ảnh hưởng của dung môi đến quá trình tổng hợp nano composite SiO2/PPy
Báo cáo "Ảnh hưởng của sắt (II) sunphat đến quá trình xử lý phốt pho và nitơ trong hệ thống thiếu khí - hiếu khí "
Đề tài nghiên cứu khoa học cấp trường: Nghiên cứu đánh giá ảnh hưởng của một số thông số đầu vào đến quá trình tách dầu trong thiết bị lọc ly tâm
Nghiên cứu các ảnh hưởng của đặc tính vật liệu trong quá trình tạo hình chi tiết dạng ống bằng nguồn chất lỏng cao áp hai chiều - ThS. Nguyễn Anh Tuấn
Ảnh hưởng của pH đến khả năng nhuộm màu trên vật liệu dệt của dịch chiết từ vỏ quả măng cụt - ĐH Công nghiệp
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.