Đang chuẩn bị liên kết để tải về tài liệu:
Tóm tắt luận án Tiến sĩ: Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ

Luận án nghiên cứu với mục tiêu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc kiểu dao động có hệ số phẩm chất và độ nhạy cao trong môi trường áp suất khí quyển. Thiết kế chế tạo vi cảm biến gia tốc kiểu tụ ba bậc tự do có thể cho phép xác định đồng thời các gia tốc theo ba phương vuông góc và có độ nhạy chéo trục thấp. | MỞ ĐẦU 1.Tính cấp thiết của luận án Ngày nay vấn đề đánh dấu vị trí của một vật thể là một kỹ thuật rất được quan tâm bởi khả năng ứng dụng to lớn trong các lĩnh vực như quân sự công nghiệp y học và dân dụng. Vấn đề trên có thể giải quyết một cách hiệu quả trên cơ sở ứng dụng hệ thống dẫn đường quán tính IMU . Hệ IMU thường có cấu hình bao gồm ba vi cảm biến gia tốc và ba vi cảm biến vận tốc góc được đặt vuông góc với nhau. Hệ thống này được gắn lên vật thể chuyển động và cho phép xác định gia tốc và vận tốc góc của vật thể đó. Các cảm biến quán tính MEMS vi cảm biến vận tốc góc và cảm biến gia tốc đã được quan tâm nghiên cứu bởi có các ưu điểm nổi trội như giá thành thấp kích thước nhỏ năng lượng sử dụng thấp có thể chế tạo hàng loạt và dễ dàng tích hợp với các mạch điện tử. Đối với các ứng dụng trong công nghiệp robot công nghiệp ô tô và thiết bị dân dụng các cảm biến quán tính MEMS hoàn toàn đáp ứng các yêu cầu về tiêu chí kỹ thuật nên đã được sử dụng trong một số ứng dụng chẳng hạn như hệ thống túi khí bảo vệ hệ thống IMU xác định vị trí của vật thể hệ thống camera . Các cảm biến quán tính sau khi chế tạo thường được đóng gói trong chân không nhằm giảm thiểu ảnh hưởng của các hiệu ứng suy hao là những yếu tố ảnh hưởng mạnh tới hoạt động của linh kiện. Các hiệu ứng suy hao đó làm giảm hệ số phẩm chất Q của linh kiện dẫn cũng như độ nhạy của linh kiện. Tuy nhiên đóng gói chân không là một công nghệ phức tạp đòi hỏi đầu tư thiết bị rất tốn kém. Mặt khác các công bố khoa học về nghiên cứu thiết kế chế tạo cảm biến quán tính có thể hoạt động trong môi trường áp suất khí quyển vẫn còn hạn chế. Chính vì vậy định hướng nghiên cứu thiết kế và chế tạo vi cảm biến vận tốc góc MEMS có khả năng hoạt động trong môi trường áp suất khí quyển đã được quan tâm. Từ các phân tích trên luận án với đề tài Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ đã được lựa chọn. 2. Mục tiêu của luận án - Thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc kiểu .