Công nghệ khoan laser sử dụng phổ biến bước sóng trong dải tử ngoại (UV), vùng nhìn thấy (VIS), và vùng hồng ngoại (IR). Thiết bị khoan laser xung Nd:YAG bơm bằng laser diode, công suất liên tục ở bước sóng hòa ba bậc hai 532 nm có thể lên tới 50W mà chúng tôi nghiên cứu và thử nghiệm, có thể khoan được những vi lỗ kích thước dưới 100 µm. Trong nghiên cứu này chúng tôi tập trung vào loại vật liệu là những tấm thép không gỉ có độ dày từ mm tới mm. | Khoan vi lỗ trên vật liệu thép không gỉ, sử dụng Laser xung hòa ba bậc hai của Nd:YAG Nghiên cứu khoa học công nghệ KHOAN VI LỖ TRÊN VẬT LIỆU THÉP KHÔNG GỈ, SỬ DỤNG LASER XUNG HÒA BA BẬC HAI CỦA Nd:YAG Phan Đình Thắng1*, Đặng Văn Mười1, Hoàng Chí Hiếu2, Hồ Anh Tâm3 Tóm tắt: Công nghệ khoan laser có thể tạo được vi lỗ có đường kính rất nhỏ cỡ vài chục micro mét. Khi chùm bức xạ laser có bước sóng nằm trong vùng tử ngoại, đường kính vi lỗ có thể nhỏ dưới 20 µm. Công nghệ này được sử dụng trong nhiều ứng dụng như: chế tạo các thiết bị vòi phun, khe cắm, màng lọc sử dụng trong các thiết bị đo đạc, cảm biến sinh học, thiết bị kết nối mật độ cao, thiết bị y tế, các thành phần thiết bị hàng không vũ trụ. Công nghệ khoan laser sử dụng phổ biến bước sóng trong dải tử ngoại (UV), vùng nhìn thấy (VIS), và vùng hồng ngoại (IR). Thiết bị khoan laser xung Nd:YAG bơm bằng laser diode, công suất liên tục ở bước sóng hòa ba bậc hai 532 nm có thể lên tới 50W mà chúng tôi nghiên cứu và thử nghiệm, có thể khoan được những vi lỗ kích thước dưới 100 µm. Trong nghiên cứu này chúng tôi tập trung vào loại vật liệu là những tấm thép không gỉ có độ dày từ mm tới mm. Từ khóa: Khoan vi lỗ Inox 304, Laser xung Nd:YAG hòa ba bậc hai. 1. MỞ ĐẦU Công nghệ khoan laser có ưu điểm nổi bật là không tiếp xúc cơ học, do đó có thể giảm đáng kể các tác động của lực cơ khí và đảm bảo duy trì sự ổn định bề mặt tấm kim loại, không gây lệch tâm vi lỗ và ít gây biến dạng vùng khoan. Những ưu điểm công nghệ khoan laser xung Nd:YAG có được bao gồm: mật độ năng lượng cao, mật độ công suất hội tụ qua thấu kính lớn (hơn 90%)[1], vùng ảnh hưởng nhiệt hẹp, chất lượng về mặt khoan cắt cao, phù hợp với ứng dụng khoan chính xác vi lỗ trên những tấm thép không gỉ. Hơn thế nữa, chi phí thiết kế, chế tạo và vận hành cho một hệ khoan laser thấp hơn nhiều so với các phương pháp khác như: phương pháp chùm điện tử, phương pháp quang khắc, phương pháp phóng điện.
