Bài báo này trình bày việc mô phỏng hoạt động linh kiện vi cân tinh thể thạch anh QCM với tần số cộng hưởng 10 MHz khi hoạt động trong môi trường lưu chất (máu, nước, dung dịch có độ nhớt cao ). nội dung chi tiết. | TAÏP CHÍ PHAÙT TRIEÅN KH&CN, TAÄP 19, SOÁ T5- 2016 Mô phỏng hoạt động của linh kiện QCM 10 MHz khi hoạt động dưới sự ảnh hưởng của lưu chất theo phương pháp trường cặp đôi Dương Tấn Phước Nguyễn Đăng Giang Trương Hữu Lý Lê Trầm Ngọc Dũng Trung tâm nghiên cứu và đào tạo thiết kế vi mạch ICDREC, ĐHQG-HCM Vũ Lê Thành Long Trương Văn Phát Ngô Võ Kế Thành Trung tâm Nghiên cứu Triển khai, Khu Công nghệ cao (Bài nhận ngày 02 tháng 01 năm 2016, nhận đăng ngày 02 tháng 12 năm 2016) TÓM TẮT Bài báo này trình bày việc mô phỏng hoạt trường cặp đôi lưu chất-cấu trúc, hai phương động linh kiện vi cân tinh thể thạch anh QCM với pháp mô phỏng phần tử hữu hạn và động lực học tần số cộng hưởng 10 MHz khi hoạt động trong lưu chất sử dụng phần mềm Ansys Mechanical và môi trường lưu chất (máu, nước, dung dịch có độ ANSYS Fluent đã được thực hiện nhằm xác định nhớt cao ). Do linh kiện QCM hoạt động trên các tín hiệu đầu ra. Phương pháp định lượng chất nền là tinh thể áp điện nên việc mô phỏng chất tải trên bề mặt linh kiện cũng đã bước đầu phải sử dụng phần tử có hỗ trợ thuộc tính áp điện được xây dựng nhằm tạo đường chuẩn làm cơ sở (SOLID 226). Việc xác định ứng xử của linh kiện hướng đến ứng dụng trong cảm biến sinh học và trong lưu chất là rất quan trọng khi hướng đến hóa học. các ứng dụng thực tế. Dựa trên phương pháp Từ khóa: linh kiện vi cân tinh thể thạch anh, QCM, FSI, Ansys Fluent, Ansys Mechanical, CFD GIỚI THIỆU Ngày nay, các linh kiện vi cơ điện tử đang được nhiều sự quan tâm nhờ ưu điểm nhỏ gọn, độ chính xác và độ nhạy cao, khả năng ứng dụng rộng rãi trong hầu hết các lĩnh vực như tự động, y tế và truyền thông. Các linh kiện vi cơ điện tử có thể chuyển đổi và truyền tải tín hiệu, cũng như khả năng cảm nhận được môi trường xung quanh dựa trên sự thay đổi các tính chất vật lý khác nhau. Một trong số đó là hiệu ứng áp điện khi chất nền của linh kiện có khả năng chuyển đổi năng lượng điện thành dao động cơ học và ngược lại. Các linh kiện áp điện được .
