Bài viết này trình bày nghiên cứu, thiết kế tối ưu kích thước vi cảm biến đồng phẳng kiểu điện dung phát hiện tế bào sống ứng dụng trong y sinh. Cấu trúc cảm biến bao gồm 2 điện cực phẳng, mỏng hình chữ nhật có kích thước nhỏ cỡ micrômét được gắn ở các vị trí cố định trên một đế phẳng bằng kính đặt dưới vi kênh dẫn lỏng, trong đó có một điện cực đóng vai trò điện cực phát (điện cực kích thích) và điện cực còn lại được đặt song song trên cùng mặt phẳng đóng vai trò điện cực thu. | P-ISSN 1859-3585 E-ISSN 2615-9619 SCIENCE - TECHNOLOGY NGHIÊN CỨU THIẾT KẾ TỐI ƯU CẢM BIẾN ĐỒNG PHẲNG KIỂU ĐIỆN DUNG PHÁT HIỆN TẾ BÀO SỐNG TRONG VI KÊNH DẪN LỎNG RESEARCH AND OPTIMAL DESIGN OF A CAPACITIVE TYPE COPLANAR SENSOR TO DETECT LIVING CELLS IN LIQUID MICROCHANNEL Nguyễn Đắc Hải1 1. GIỚI THIỆU TÓM TẮT Trong những thập kỷ Bài báo này trình bày nghiên cứu thiết kế tối ưu kích thước vi cảm biến đồng phẳng kiểu điện dung phát hiện tế bào qua các thiết bị vi lỏng sống ứng dụng trong y sinh. Cấu trúc cảm biến bao gồm 2 điện cực phẳng mỏng hình chữ nhật có kích thước nhỏ cỡ ngày càng được sử dụng micrômét được gắn ở các vị trí cố định trên một đế phẳng bằng kính đặt dưới vi kênh dẫn lỏng trong đó có một điện cực nhiều hơn để bơm và đóng vai trò điện cực phát điện cực kích thích và điện cực còn lại được đặt song song trên cùng mặt phẳng đóng vai trò điện phát hiện các tế bào sống cực thu. Kênh dẫn lỏng có kích thước 30µm x 40µm được bơm dung dịch lỏng là nước tinh khiết có hằng số điện môi là 81. do giảm sử dụng mẫu và Cảm biến được đề xuất có thể phát hiện tế bào sống có kích thước nhỏ đường kính 15µm. Khi tế bào sống di chuyển trong thuốc thử với độ nhạy kênh dẫn có gắn cảm biến đồng phẳng kiểu điện dung tế bào sẽ làm thay đổi điện môi trong cảm biến tụ từ đó làm thay đổi cao thời gian xử lý ngắn giá trị điện dung của tụ điện điều này giúp ta xác định được sự xuất hiện của tế bào sống đó. Hoạt động của cảm biến được hơn và nhiều ưu điểm khảo sát bởi phương pháp phần tử hữu hạn FEM sử dụng phần mềm mô phỏng Ansoft Maxwell. Kết quả mô phỏng thể khác. Những tiến bộ này hiện sự thay đổi điện dung khi có sự xuất hiện của tế bào sống. Dựa trên kết quả mô phỏng này kích thước của các điện cực đã cho phép phát triển đã được tìm ra để thiết kế cảm biến với độ nhạy cần thiết. Trong nghiên cứu này đã tìm ra kích thước tối ưu của cảm biến với nhiều lĩnh vực bao gồm các tham số a 60µm b 40µm d 10µm h 0 15µm độ dày lớp phủ điện cực t 10µm. Cảm biến có thể được ứng phân tích .
