Nghiên cứu này được thực hiện trên cơ sở khảo sát sự hình thành Vanadium dioxit (VO2) bằng phương pháp CVD hai vùng nhiệt kết hợp plasma tăng cường. Nghiên cứu sự ảnh hưởng của plasma đến việc hình thành màng mỏng trên đế thủy tinh đồng thời xác định điều kiện tối ưu nhất để hình thành màng Vanadium dioxit. | Giải thưởng Sinh viên nghiên cứu khoa học Euréka lần 20 năm 2018 Kỷ yếu khoa học CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT MÀNG VANADIUM DIOXIT BẰNG PHƯƠNG PHÁP CVD HAI VÙNG NHIỆT KẾT HỢP PLASMA TĂNG CƯỜNG Nguyễn Thị Kim Trúc Nguyễn Trung Hiếu Trường Đại học Khoa học Tự nhiên Đại học Quốc gia TP. Hồ Chí Minh Tác giả liên lạc kimtruc1213@ TÓM TẮT Nghiên cứu này được thực hiện trên cơ sở khảo sát sự hình thành Vanadium dioxit VO2 bằng phương pháp CVD hai vùng nhiệt kết hợp plasma tăng cường. Nghiên cứu sự ảnh hưởng của plasma đến việc hình thành màng mỏng trên đế thủy tinh đồng thời xác định điều kiện tối ưu nhất để hình thành màng Vanadium dioxit. Từ đó tiến hành thống kê biên độ trễ nhiệt để tìm ra quy luật hình thành màng Vanadium dioxit thuần. Từ khóa Sự hình thành màng vanadium dioxit VO2 plasma tăng cường CVD. FABRICATION AND CHARACTERIZATION OF THIN FILM VANADIUM DIOXIT BY PLASMA ASSISTED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION Nguyen Thi Kim Truc Nguyen Trung Hieu University of Science VNU Ho Chi Minh City Corresponding Author kimtruc1213@ ABSTRACT This study aims at investigating fabrication and characterization of thin film Vanadium dioxit VO2 by plasma assisted chemical vapor deposition. Researching the effect of plasma on the formation of thin films on glass substrates and determine the optimum conditions for formation of thin film vanadium dioxide. Thus statistical latency to find out the rules of formation of pure Vanadium dioxide thin film. Keywords Thin film formation vanadium dioxit VO2 plasma assisted chemical vapor deposition CVD . TỔNG QUAN Pháp Nhật Bản Đức đã và đang tập Gần đây việc nghiên cứu tìm kiếm các trung nghiên cứu về các loại vật liệu loại vật liệu cấu trúc nano với các đặc này và đã phát hiện ra nhiều hiệu ứng tính mới đã đạt được nhiều thành công mới như hiệu ứng nhiệt sắc điện sắc đáng kể. Trong đó phải kể đến hướng quang sắc Trên cơ sở đó các nhà nghiên cứu về các vật liệu biến đổi tính khoa học đã tập trung nghiên cứu về chất quang dưới tác dụng .
