Cuốn sách "Công nghệ chế tạo Mạch vi điện tử" phần 1 cung cấp cho người đọc những kiến thức như: Nhập môn cóng nghệ chế tạo mạch vi điện tử; vật liệu bán dẫn; khuếch tán; oxy hóa nhiệt; .Mời các bạn cùng tham khảo! | NGUYỄN ĐỨC CHIÉN Chủ biên NGUYẺN VĂN HIÉU CÔNG NGHỆ CHÉ TẠO MẠCH VI ĐIỆN Tử Xuất bản lần thứ hai có sửa chừa và bô sung NHÀ XUẤT BẢN BÁCH KHOA - HÀ NỘI ỉản quyền thuộc về trường Đại học Bách Khoa Hà Nội. lọi hình thức xuất bàn sao chép mà không có sự cho phép bằng văn bàn cúa rường là vi phạm pháp luật. Mã số 22 - 2014 CXB 70 - 80 BKHN B iên m ục trên xuất bản phẩm của T hư viện Q uốc gia V iệt N am guyễn Đức Chiến Công nghệ chế tạo mạch vi điện từ Nguyễn Đức Chiến . Nguyễn ãn Hiếu. - Xuất bản lần thứ 2 có sửa chữa bổ sung. - H. Bách khoa Hà Nội 314. - 268tr. hình vẽ bảng 24cm Thư mục tr. 226-227 ISBN 9786049116551 1. Côna nghệ ch ế tạo 2. Mạch vi điện tử -d c 2 3 B K F 0041p-CIP LỜI NÓI ĐẦU T ừ khi ba nhà bác học ở B ell Labs là Shockley Bardeen và Brattain phát minh ra transistor năm 1947 kỹ thuật điện tử đã có những bước nhảy vọt làm bùng nồ cuộc cách m ạng thõng tin làm thay đối thế giới trong những thập kỷ cuối thế kỷ X X . Từ những m ạch điện tử sử dụng các linh kiện rời rạc với những chức năng đơn giản độ tin cậy thấp người ta đã chế tạo được những mạch tích hợp đầu tiên với chức nãng ngày càng phức tạp và độ tin cậy ngày càng cao giá thành ngày càng rẻ. Từ những mạch tích hợp với chi vài transistor và vài điện trờ trên một chip giờ đây người ta đã có thể chế tạo hàng chục triệu đến hàng trăm triệu transistor trên m ột chip diện tích vài cm 2. Từ những m ạch điện tử với linh kiện cơ bàn là transistor kích thước vài m ilim et đến hàng trăm m icrom et người ta đã giảm thiểu kích thước linh kiện xuốn g còn m ột vài m icrom et làm xuất hiện điện tử m icro hay còn gọi là vi điện từ m icroelectronics . Dần dần các kỹ thuật hiện đại cho phép giảm kích thước tối thiều cùa transistor xuống dưới m icrom et và những năm gần đây chiều dài kênh của transistor M O SFE T được rút xuốn g chì còn vài chục nanom et xuất hiện mạch điện từ nano nanoclectronics . Như vậy lời tiên đoán của m ột trong hai nhà sáng ập ra hãng Intel nổi tiến g là Gordon M oorc năm 1965
