Đề tài này tập trung vào việc khảo sát và chế tạo được màng AIN bằng phương pháp vật lý sử dụng phún xạ DC có phản ứng từ bia AI nguyên chất trong điều kiện thí nghiệm tại Phòng thí nghiệm trung tâm Nano và Năng lượng, Đại học Khoa học Tự nhiên Hà Nội. Để hiểu rõ hơn mời các bạn cùng tham khảo nội dung chi tiết của luận văn này. | ĐẠI HỌC THÁI NGUYÊN TRƢỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC NGUYỄN THỊ KHÁNH LINH KHẢO SÁT TÍNH CHẤT QUANG VÀ ĐIỆN CỦA MÀNG AlN ĐƢỢC CHẾ TẠO BẰNG PHƢƠNG PHÁP PHÚN XẠ PHẢN ỨNG DC LUẬN VĂN THẠC SĨ VẬT LÝ Thái Nguyên - 2019 ĐẠI HỌC THÁI NGUYÊN TRƢỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC NGUYỄN THỊ KHÁNH LINH KHẢO SÁT TÍNH CHẤT QUANG VÀ ĐIỆN CỦA MÀNG AlN ĐƢỢC CHẾ TẠO BẰNG PHƢƠNG PHÁP PHÚN XẠ PHẢN ỨNG DC Ngành Quang học Mã số LUẬN VĂN THẠC SĨ VẬT LÝ NGƢỜI HƢỚNG DẪN KHOA HỌC TS. ĐẶNG VĂN SƠN Thái Nguyên - 2019 ỜI CAM ĐOAN T i i g h ghi i g i h g h h TS Đ g V S i g ghi a g g h h g i h h h Nh g i h h i gi h h g h h ghi g h i i h h N h hi gi i i h h h hi n i g h Thái Nguyên ng th ng n m Họ vi i ỜI CẢM ƠN T i g h h h h g g i h h h i ih h h TS Đ g V S - g ih g i i g h g N g g N ĐHKHTN - ĐHQG H N i i g Th Th h T T i g i i h V X H h g h V - g gh g ĐH Kh h ĐH Th i Ng h g g i i i h h h i g h ii MỤC LỤC L I AM ĐOAN . i L I M ƠN . ii ANH M K HI U H VI T T T . v ANH M NG. vi ANH M H NH H NH V NH H P Đ TH . vii M ĐẦU . 1 CHƢƠNG 1 TỔNG QUAN. 4 . Hi u g i n . 4 . V t li i n . 6 . V t li i n không ch a chì. 8 . Aluminium Nitride Nhôm Nitride. 11 . Ứng d ng c a hi u g i n . 14 . Ph ng pháp phún x . 17 CHƢƠNG 2 QUY TRÌNH VÀ THỰC NGHIỆM . 19 . Ti n hành ch t o màng m ng AlN bằng ph ng pháp phún x ph n ng DC . 19 . Quy trình làm s h . 19 . Lắ g ng màng m ng AlN bằng ph g h ng phún x ph n ng DC . 19 . Các ph ng pháp kh o sát v t li u . 20 . Phổ truy n qua h p th quang h c UV-Vis . 21 2 2 2 Phé hiễu x tia X XRD. 25 2 2 3 Phé R . 27 . Kính hi i i n t quét SEM . 28 . Phổ tán x g ng tia X EDX . 29 iii . Hi u ng Hall . 30 CHƢƠNG 3 KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN . 33 . K t qu hổ nhiễu x tia X. 33 . Kh o sát s nh h ng c a áp su t . 33 . Kh o sát s nh h ng c a công su t . 35 . Kh o sát s nh h ng c a n g khí N2 . 37 . Tính ch t quang c a màng m ng AlN . 38 . Các k t qu hổ h p th UV-Vis . 38 . Các k t qu hổ truy n qua . 41 . K t qu hổ Raman . 43
