Bài giảng Công nghệ vi mạch điện tử: Phần 1 được biên soạn gồm các nội dung chính sau: Tổng quan về mạch tính hợp; đặc tính của các linh kiện mos; công nghệ xử l ý cmos; mạch cmos và thiết kế layout. Mời các bạn cùng tham khảo! | TRƯỜNG ĐẠI HỌC THÁI BÌNH KHOA ĐIỆN ĐIỆN TỬ BÀI GIẢNG CÔNG NGHỆ VI MẠCH ĐIỆN TỬ HỆ ĐẠI HỌC NGHÀNH CNKT ĐIỆN ĐIỆN TỬ Biên soạn NGUYỄN THỊ THU HÀ Năm 2021 1 MỤC LỤC LỜI MỞ ĐẦU .4 CHƯƠNG 1 TỔNG QUAN VỀ MẠCH TÍNH HỢP .5 Tổng quan . 5 Các loại mạch tích hợp .7 Phân loại IC .7 Phân loại theo công Phân loại theo tín hiệu được xử Quy trình tạo mạch tich hợp . 8 Phân tích mạch tích hợp số và tương tự . 9 Giới thiệu qui trình sản xuất IC bắt đầu từ phiến silicon .10 - Hình Các lớp cắt miếng Silicon .10 Lịch sử ra đời của vi mạch tích hợp .11 CHƯƠNG 2 ĐẶC TÍNH CỦA CÁC LINH KIỆN MOS .15 Khái niệm .15 Cấu tạo .17 Phân loại .17 Đặc tính kỹ Công suất tiêu tán .23 Tốc độ chuyển mạch tần số chuyển mạch .23 Điện áp vào và ra của các loại CMOS .24 Dòng điện ngõ vào và ngõ ra .25 Hệ số tải .25 Tính kháng nhiễu .25 Các IC cổng logic .25 CHƯƠNG 3 CÔNG NGHỆ XỬ L Ý CMOS .26 Quy trình chế tạo Wafer .28 Sự dẫn điện của bán dẫn thuần .28 Bán dẫn tạp chất .28 Phương pháp khuếch tán và bắn electron .34 Quy trình tạo linh kiên và đấu Tổng quát quy trình từ miếng Siliccon đến die .35 CHƯƠNG 4 MẠCH CMOS VÀ THIẾT KẾ Thiết kế vật lý cơ bản các công logic cơ bản .45 Cổng NOT .45 Cổng AND .45 2 Cổng NAND .46 Cổng XOR .46 Layout cổng Cổng NOT .48 Cổng Cổng NAND .49 Những thành phần cơ bản trong thiết kế Layout .51 CHƯƠNG 5 CÔNG NGHỆ VI MẠCH TÍCH Các bước thiết kế và chế tạo một Thiết kế hệ thống System design .55 Thiết kế chức năng Funtion design .56 Tổng hợp Sắp đặt linh kiện vẽ dây kết nối Synthesis Place Route .56 Thiết kế phân lớp layout design .57 Thiết kế các mặt nạ Mask pattern design .57 Sản xuất mask .57 Chuẩn bị wafer .57 Quá trình xử lý wafer .58 Kiểm tra dóng gói và xuất xưởng .63
