Luận án "Nghiên cứu thiết kế hệ thống lò xo vi treo kiểu dầm cong kết cặp cơ và chế tạo mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano plasmonic" được thực hiện nhằm phát triển hệ lò xo vi cơ ưu tiên dao động theo phương vuông góc với mặt phẳng đế chế tạo trục z); thiết lập quy trình chế tạo mũi dò khắc có kích thước nano sử dụng kỹ thuật quang khắc và vi cơ khối ướt truyền thống. | BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI Nguyễn Văn Đường NGHIÊN CỨU THIẾT KẾ HỆ THỐNG LÒ XO VI TREO KIỂU DẦM CONG KẾT CẶP CƠ VÀ CHẾ TẠO MŨI DÒ QUÉT ĐỊNH HƯỚNG ỨNG DỤNG KHẮC CÁC CẤU TRÚC NANO PLASMONIC Ngành Khoa học Vật liệu Mã số 9440122 TÓM TẮT LUẬN ÁN TIẾN SĨ KHOA HỌC VẬT LIỆU Năm 2023 1 Công trình được hoàn thành tại Đại học Bách khoa Hà Nội Người hướng dẫn khoa học Chu Mạnh Hoàng Phản biện 1 . Phản biện 2 . Phản biện 3 . Luận án được bảo vệ trước Hội đồng đánh giá luận án tiến sĩ cấp Đại học Bách khoa Hà Nội họp tại Đại học Bách khoa Hà Nội Vào hồi . giờ ngày . tháng . năm Có thể tìm hiểu luận án tại thư viện 1. Thư viện Tạ Quang Bửu - ĐHBK Hà Nội 2. Thư viện Quốc gia Việt Nam 2 MỞ ĐẦU 1. Lý do chọn đề tài Trong vài thập kỷ qua công nghệ nano phát triển đã mở ra cho các nghiên cứu và ứng dụng phục vụ cuộc sống. Ngày nay có nhiều ứng dụng dành cho cảm biến quang học với độ chọn lọc cao được sử dụng. Từ đó đặt ra bài toán về sản xuất hàng loạt tạo ra các sản phẩm thương mại có giá thành cạnh tranh và hiệu suất chế tạo cao. Hiện nay có nhiều phương pháp chế tạo cấu trúc nano K thuật quang khắc khắc chùm điện tử chùm ion. Mỗi phương pháp đều có ưu và nhược điểm ứng dụng hàng loạt sản xuất công nghiệp. Để đáp ứng về mặt kích thước cấu trúc cũng như hiệu suất chế tạo cao thì k thuật khắc sử dụng mũi dò quét đã và đang thể hiện cho thấy điều đó. Tạo ra các cấu trúc nano mũi dò quét có thể khắc tr c tiếp không sử dụng mặt nạ khắc tr c tiếp bề mặt mẫu một cách cơ học với một đ u dò đã được định hình cấu trúc. Độ ph n giải c a cấu trúc nano phụ thuộc vào kích thước c a mũi dò và độ s u c a mẫu khắc. Để tối ưu cho k thuật khắc sử dụng mũi dò quét c n quan t m tới kích thước hình dạng mũi dò quét và hệ vi cơ điều khiển l c khắc c a mũi dò lên mẫu. Vì vậy nghiên cứu sinh l a chọn đề tài Nghiên cứu thiết kế hệ thống lò xo vi treo kiểu dầm cong kết cặp cơ và chế tạo mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano plasmonic . M c đ ch nghi n c u Phát .
